ICS31-030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T32644—2016 平板显示器基板玻璃化学耐久性的 试验方法 Testmethodforchemicaldurabilityofflatpaneldisplayglasssubstrates 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口。 本标准主要起草单位:东旭集团有限公司、中国电子技术标准化研究院、芜湖东旭光电科技有限公 司、石家庄旭新光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司。 本标准主要起草人:李兆廷、李青、王建强、王香、裴会川。 ⅠGB/T32644—2016 平板显示器基板玻璃化学耐久性的 试验方法 1 范围 本标准规定了平板显示器基板玻璃化学试剂耐久性的试验方法。 本标准适用于平板显示器基板玻璃化学耐久性的测试。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2410—2008 透明塑料透光率和雾度的测定 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 失重法 weightlossmethod 将试样浸渍在化学试剂中,通过比较化学浸蚀前后试样重量的差别来计算耐久性的方法。 3.2 雾度法 hazemethod 平板显示器基板玻璃经化学试剂浸蚀后测量其表面模糊程度的方法。 4 试验方法 4.1 试剂和材料 对试剂和材料没有特殊的规定要求。只要在试验报告中给出得到结果的试验条件,可以采用任何 试剂和任何浓度的组合。试验条件应该能够反映平板显示器生产厂家的实际生产工艺条件,试验条件 可由供需双方进行协商。建议采用下列化学试剂和试验条件: a) 10%HF,在22℃下浸蚀20min; b)5%HCl,在95℃下浸蚀24h; c)10%NaOH,在42℃下浸蚀10min; d)5%NaOH,在95℃下浸蚀6h。 4.2 试验装置 4.2.1 反应容器 反应容器应满足以下要求: a) 材料:聚四氟乙烯或其他耐腐蚀材料; 1GB/T32644—2016 b)形状:圆柱形广口可密封容器,其容积应适合装载样品的尺寸及样品数量。 4.2.2 水浴加热装置 可实现恒温控制的振荡水浴槽或相当的设备,应满足以下要求: a) 振荡行程:10mm~60mm; b)振荡频率:30次/min~90次/min,精确到±10次/min; c)使用温度范围:室温~95℃,精确到:±1℃。 4.2.3 烘箱 使用温度范围为室温~300℃。 4.2.4 干燥器 在室温下使用,应具有足够大的容积和尺寸,以满足测试样品需要。 4.2.5 卡尺 精度为0.02mm。 4.2.6 天平 精度为0.01mg。 4.2.7 雾度测量仪 所用雾度测量仪带有积分球,其规格符合GB/T2410—2008的规定或等效规格仪器。 注:能自动测量总透过率,漫透过率和模糊度值的测量装置是理想的测量仪器。 4.3 试样制备 4.3.1 取平板显示器用无条纹、无结石、无缺陷的基板玻璃,裁切成尺寸为25mm×50mm的待测样 品。如果待测样品尚未修磨边缘,则应将它们的边缘和棱角进行研磨、抛光。 4.3.2 测量待测样品进行尺寸。 4.3.3 在超声波洗涤槽中用适合的中性或碱性洗涤剂清洗试样大约10min。该清洗方法不应对待测 试样造成腐蚀。 4.3.4 在超声波洗涤槽中将待测试样用纯水流连续清洗1min,再分别用酒精、丙酮进行擦洗,最后进 行烘干。 4.3.5 将所有待测试样放入烘箱内,并在110℃±2℃温度下烘干30min。 4.3.6 将烘干后的所有待测试样放在装有硅胶或硫酸钙的干燥器中冷却至室温。 4.3.7 如果采用失重法进行测量,则应根据需要用天平称量试样,称量结果准确至0.01mg。 4.4 试验步骤 4.4.1 将制备好的待测试样进行称重。 4.4.2 将待测试样放于装有一定温度、一定浓度的试剂溶液的反应容器中。 4.4.3 待测试样和空的容器底部间应留有1cm~2cm的空隙,确保待测试样全部浸蚀在液体中并充 分接触,待测试样也可以相对于器壁成倾斜状放置。 4.4.4 将反应容器放在已预热到设定温度的振荡器水浴槽内,振荡器设有规定的振荡行程和振荡频 率。关闭反应容器,让待测试样在规定的温度和时间内受试剂的作用。 2GB/T32644—2016