ICS31-030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T25495—2010 代替GB/T6626.1—1986,GB/T9506.6—1988,GB/T9506.2—1988 吸 气剂金属释放特性测试方法 Testmethodsformetalreleasingcharacteristicsofgetters 2010-12-01发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准是将以下标准整合后进行修订的: ———GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》; ———GB/T9506.6—1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》; ———GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。 本标准与原标准相比主要变化如下: ———取消释汞吸气剂释汞特性的测试方法中的名词术语,在规范性引用文件中新增GB/T4314 《吸气剂术语》; ———将GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》与 GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的测试系统、方法合并; ———取消试验设备中的无脂球阀; ———将试验中测试室的尺寸按使用用途分类改为按金属释放量分类; ———将释汞量、得钡量加热完后称重时间由15min更改为5min内; ———释汞特性曲线的测试由400℃开始提高到500℃开始; ———取消平均值、标准偏差的计算方法; ———取消得钡量一致性测试; ———取消测试报告格式; ———将GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的蒸散曲线绘制方法中的起蒸 时间的控制表述进行修订; ———根据GB/T1.1—2000的要求进行格式修订。 本标准代替下列标准: ———GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》; ———GB/T9506.6—1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》; ———GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国 电子科技集团公司第十二研究所。 本标准主要起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: ———GB/T6626.1—1986; ———GB/T9506.6—1988; ———GB/T9506.2—1988。 ⅠGB/T25495—2010 吸气剂金属释放特性测试方法 1 范围 本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲 线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB/T4314 吸气剂术语 GB/T25494—2010 吸气剂成分分析测试方法 3 术语 GB/T4314所确定的术语和定义适用于本标准。 4 金属释放量的测试方法 4.1 原理 吸气剂金属释放量的测试,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、蒸散型钡吸气剂得钡量等,均采 用“差重法”测定释放出的金属量。 4.2 测试设备和条件 对蒸散型吸气剂进行测试时,推荐的试样室和高频感应线圈尺寸见表1。试样应处于圆筒形试样 室和高频感应线圈的中央。通常,将试样放置在能够直接朝向试样室顶部蒸散的水平位置上,采用同轴 蒸散。对于天线式装架的彩色显像管用吸气剂,为使蒸散方向朝对面的玻壁,试样支撑架至少要与试样 室轴线成30°角;为防止试样在蒸散期间发生位移,应采用切向蒸散。见图1。 1GB/T25495—2010 1———前级泵; 2———三通真空阀; 3———高真空泵; 4———隔断阀; 5———真空规; 6———冷阱(释汞时选用); 7———隔断阀; 8———放气阀;9———试样室(同轴蒸散时选用); 10———试样室(切向蒸散时选用); 11———试样室(释汞时选用); 12———高频感应线圈; 13———吸气剂试样; 14———热偶引线; 15———试样支撑架。 图1 测试装置示意图 a) 测试台:真空系统的极限真空必须优于1×10-2Pa,测试掺气吸气剂时,系统应具有相当快的 抽速,以使试样蒸散期间系统内的最高压强低于10Pa; b) 高频感应加热器(300~400)kHz,10kW; c) 秒表; d) 分析天平; e) 真空计:量程为(0.001~10)Pa; f) 点焊机; g) 温度计:量程为(0~1100)℃。 表1 试样室和高频感应线圈尺寸 吸气剂类型 试样室 高频感应线圈 类型释放量 mg外径 mm长度 mm高度a mm内径b Mm高度 mm圈数 同轴蒸散<25 25~100 >10020 35 60100 250 32035 150 14023 51 7016 22 223.5 5.5 5.5 切向蒸散 >100 80 320c90d51 15 6~10e a从吸气剂底部到试样室顶部的尺寸。 b线圈由3mm的铜管制成。 c试样室轴与铅垂线倾斜30°。 d从吸气剂中心到试样室顶部的尺寸。 e每层为3~5圈的双层线圈。 2GB/T25495—2010