ICS.31. 200 99 T 中华人民共和国国家标准 GB/T17864—1999 idt SEMI P24:1994 关键尺寸(CD)计量方法 CD Metrology procedures 1999-09-13发布 2000-06-01实施国家质量技术监督局发布 GB/T17864-1999 目次前言 1 范围引用标准 3 定义 4 精确度附录A（标准的附录）应用提示附录B（标准的附录）关于置信度和置信区间的说明

GB-T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法

文档预览

中文文档 10 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2.5元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共10页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

下载文档到电脑，方便使用

赞助2.5元下载

本文档由人生无常于 2024-07-06 23:04:27上传分享

下载原文档(3.4 MB)

友情链接