GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T36053—2018/ISO16413:2013 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry-Instrumental requirements,alignment and positioning data collection,data analysis and reporting (ISO16413:2013,IDT) 2018-03-15发布 2019-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T36053—2018/ISO16413:2013 目次前言引言 1 范围 2术语、定义、符号和缩略语 2.1术语和定义 2.2符号和缩略语 3仪器要求、准直和定位指南 3.1 扫描方法的仪器要求 3.2 仪器准直 3.3 样品准直数据采集和存储 4.1 概述 4.2 数据扫描参数 4.3 动态范围 4.4 步长（峰定义） 4.5 采集时间（累计计数） 10 4.6 分段数据采集 10 4.7 降低噪声 4.8 探测器 4.9 环境 4.10 数据存储 5 数据分析· 5.1 初步数据处理 5.2 样品建模· 5.3 XRR数据模拟 5.4 一般举例…. 5.5 数据拟合 17 6XRR分析报告中的必要信息 18 6.1 概述 6.2 实验细节 18 6.3 分析（模拟和拟合）程序 18 6.4 报告XRR曲线的方法 19 附录A（资料性附录）氮氧化硅晶圆测量报告示例 22 参考文献 26

GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

文档预览

中文文档 34 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2.5元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共34页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告第 1 页

GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告第 2 页

GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告第 3 页

下载文档到电脑，方便使用

赞助2.5元下载

本文档由人生无常于 2024-03-30 15:58:23上传分享

GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告