(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221739076.2 (22)申请日 2022.07.07 (73)专利权人 深圳恒泰克 科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市坪 山区坑梓街 道办事处秀新社区锦绣中路14号深福 保现代光学厂区一期厂房10 3C区 (72)发明人 张剑华　 (74)专利代理 机构 广东灵顿知识产权代理事务 所(普通合伙) 44558 专利代理师 陈丹萍 (51)Int.Cl. B24B 19/00(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 55/12(2006.01) B24B 47/22(2006.01)C23C 14/35(2006.01) C23C 14/32(2006.01) (54)实用新型名称 一种新型镀膜用靶材回收装置 (57)摘要 本实用新型涉及 靶材回收技术领域， 具体的 说是一种新型镀膜用靶材回收装置， 包括固定 座， 所述固定座上安装有限位机构， 所述限位机 构包括连接杆， 所述固定座上滑动连接有四根呈 两两对称分布的连接杆， 所述连接杆上套设有弹 簧， 所述弹簧的两端分别与固定座及连接杆固定 连接， 所述连接杆的一端固定连接有挡块， 所述 固定座的内部转动连接有转盘， 所述转盘上设有 导轨， 所述导轨的内部滑动连接有导向柱， 所述 导向柱的一端与连接杆的一侧固定连接， 所述固 定座的内部滑动连接有收集 盒， 所述收集盒为一 侧敞开式； 经过打磨处理的靶材可 以多次利用， 不仅操作方便， 同时还节省了成本 。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 217914537 U 2022.11.29 CN 217914537 U 1.一种新型镀膜用靶材回收装置， 包括固定座 （1） ， 其特征在于： 所述 固定座 （1） 上安装 有限位机构 （2） ， 所述限位机构 （2） 包括连接杆 （201） ， 所述固定座 （1） 上滑动连接有四根呈 两两对称分布的连接杆 （201） ， 所述连接杆 （201） 上套设有弹簧 （202） ， 所述弹簧 （202） 的两 端分别与固定座 （1） 及连接杆 （201） 固定连接， 所述连接杆 （201） 的一端固定连接有挡块 （203） ， 所述固定座 （1） 的内部转动连接有转盘 （204） ， 所述转盘 （204） 上设有导轨 （205） ， 所 述导轨 （205） 的内部滑动连接有导向柱 （206） ， 所述导向柱 （206） 的一端与连接杆 （201） 的一 侧固定连接， 所述固定座 （1） 的内部滑动连接有收集盒 （209） ， 所述收集 盒 （209） 为一侧敞开 式。 2.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述固定座 （1） 整体呈“L”形结构， 所述固定座 （1） 上固定连接有防护罩 （3） 。 3.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述挡块 （203） 的截面为弧形结构， 所述挡 块 （203） 设有多个， 且多个所述挡块 （203） 的首位相互抵触构成 圆环形结构。 4.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述导轨 （205） 设有多个， 所述 导轨 （205） 呈倾斜设置， 且所述 导轨 （205） 为弧形 结构。 5.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述固定座 （1） 的一侧设有滑轨 （207） ， 所述滑轨 （207） 为弧形结构且内部滑动连接有滑动把手 （208） ， 所述 滑动把手 （208） 的一端与转盘 （204） 固定连接 。 6.根据权利要求5所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述固定座 （1） 上安装有夹持机构 （4） ， 所述夹持机构 （4） 包括滑槽 （401） ， 所述固定座 （1） 的一侧设有滑槽 （401） ， 所述滑槽 （401） 呈 “凸”形结构， 所述滑槽 （401） 的内部转动连接有丝杆 （406） ， 所述丝 杆 （406） 的两端均 与固定座 （1） 的内部转动连接 。 7.根据权利要求6所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述丝杆 （406） 两端的螺纹为反向结构， 所述丝杆 （406） 的两端分别螺纹连接有第一夹板 （402） 及第二夹板 （403） ， 所述第一夹 板 （402） 与第二夹 板 （403） 的一侧均 与固定座 （1） 的一侧滑动连接 。 8.根据权利要求7所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述第一夹板 （402） 的一侧固定连接有滑套 （404） ， 所述滑套 （404） 的内部滑动 连接有滑杆 （405） ， 所述滑 杆 （405） 的一端与第二夹 板 （403） 的一侧固定连接 。 9.根据权利要求1所述的一种新型镀膜用靶材回收装置， 其特征在于： 所述固定座 （1） 的一侧转动连接有转动块 （407） ， 所述 转动块 （407） 的一端与丝杆 （40 6） 的一端固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217914537 U 2一种新型镀膜用靶材回收 装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种靶材回收装置， 具体为一种新型镀膜用靶材回收装置， 属于 靶材回收技 术领域。 背景技术 [0002]靶材是通过磁控溅射、 多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射 在基板上形成各种功 能薄膜的溅射源。 简单说的话， 靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材 料。 目前废弃靶材或靶材废料 的回收基本上是通过放置回收桶， 操作人员将废弃靶材或靶 材废料扔入回收桶来实现回收， 然后再 统一熔炼， 但是这种熔炼后的材料不纯净， 含有较多 的杂质， 需要经 过多次提纯才能继续使用， 非常麻烦还浪费人工及成本 。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型镀膜用靶材回收装 置， 不需要进行熔炼回收， 只需进行打磨回收即可， 经过打磨处理的靶材可以多次利用， 不 仅操作方便， 同时还节省了大量的成本 。 [0004]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的， 一种新型镀膜用靶材回收装置， 包括固定座， 所述固定座上安装有限位机构， 所述限位机构包括连接杆， 所述固定座上滑动 连接有四根呈两两对称分布的连接杆， 所述连接杆上套设有弹簧， 所述弹簧的两端分别与 固定座及连接杆固定连接， 所述连接杆 的一端固定连接有挡块， 所述固定座的内部转动连 接有转盘， 所述转盘上设有导轨， 所述导轨的内部滑动连接有导向柱， 所述导向柱的一端与 连接杆的一侧固定连接， 所述固定座的内部滑动连接有收集盒， 所述收集盒为 一侧敞开式。 [0005]优选的， 所述固定座整体呈 “L”形结构， 所述固定座上固定连接有防护罩。 [0006]优选的， 所述挡块的截面为弧形结构， 所述挡块设有多个， 且多个所述挡块的首位 相互抵触构成圆环形 结构。 [0007]优选的， 所述 导轨设有 多个， 所述 导轨呈倾 斜设置， 且所述 导轨为弧形 结构。 [0008]优选的， 所述固定座的一侧 设有滑轨， 所述滑轨为弧形结构且内部滑动连接有滑 动把手， 所述滑动把手的一端与转盘固定连接 。 [0009]优选的， 所述固定座上安装有夹持机构， 所述夹持机构包括滑槽， 所述固定座的一 侧设有滑槽， 所述滑槽呈 “凸”形结构， 所述滑槽的内部转动连接有丝杆， 所述丝杆的两端均 与固定座的内部转动连接 。 [0010]优选的， 所述丝杆两端的螺纹为反向结构， 所述丝杆的两端分别螺纹连接有第一 夹板及第二夹 板， 所述第一夹 板与第二夹 板的一侧均 与固定座的一侧滑动连接 。 [0011]优选的， 所述第一夹板的一侧固定连接有滑套， 所述滑套的内部滑动连接有滑杆， 所述滑杆的一端与第二夹 板的一侧固定连接 。 [0012]优选的， 所述固定座的一侧转动连接有转动块， 所述转动块的一端与丝杆的一端 固定连接 。说　明　书 1/4 页 3 CN 217914537 U 3